通過機械手搬運晶片,用特定激光器在晶片指定位置打標(biāo),實現(xiàn)對晶片的自動標(biāo)記。可實現(xiàn)軟打標(biāo)和硬打標(biāo)。可打標(biāo)半導(dǎo)體材料覆蓋:、Si、SiC、GaAs、InP、Al2O3(藍寶石)、Ge等材料。
自動晶片激光打標(biāo)機布局圖
自動晶片激光打標(biāo)機組成